| Производитель | Agilent Technologies |
| Страна | США |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 5x10^(-10) |
| Частота вращения, об/мин | 81000 |
| Уровень шума, дБ | 40 |
| Охлаждение | Воздушное / водяное |
| Вес, кг | 2,5 |
| Время разгона ротора, мин | 2 |
| Вход и выход | ISO 63 / KF 16 NW |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^11 |
| Коэффициент сжатия аргона | 1x10^11 |
| Коэффициент сжатия водорода | 5x10^4 |
| Коэффициент сжатия гелия | 2x10^6 |
| Модель | TwisTorr 84 FS ISO 63 |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | TwisTorr |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 67 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 66 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 53 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 63 |
| Температурный режим, °С | от 5 до 35 |
